德国pfeifferhlt 560质谱检漏仪用于pecvd镀膜设备检漏应用实例(福建大的太阳能晶体硅电池制造公司) 一、镀膜设备检漏原因 福建大的太阳能晶体硅电池制造公司,专业生产太阳能单晶和多晶电池片.该公司在生产过程中应用了pecvd沉积si3n3减反层, 4-5天设备需要保养一次(清洁mask,更换支架等等),由于是清洁设备内部,所以存在内部腔体密封性失效的可能.如果镀膜设备密封性不好,镀出来的产品膜厚会不均匀,产品四周膜参数会不合格. 如果镀膜设备保养完成后,能做一次检漏,就可以避免很多不合格产品的产生,达到节约生产成本的目的.德国pfeiffer的hlt 560质谱检漏仪具有操作简单,反应灵敏的特点,得到了客户的青睐. 二、镀膜设备检漏操作 示意图如下: 1),将质谱检漏仪hlt 560连接到泵组前的检漏口上. 2),启动检漏仪,检漏仪开始抽取密闭腔体中的气体,同时启动镀膜设备的泵组. 3),在镀膜机内部的真空下降到一定程度的时候,如0.5 mbar以下的时候,拿气喷在怀疑有漏的地方,或者检查标准保养时动到的部位.这时需要有人观察检漏仪的漏率指示值的变化.当漏率上升或漏率值变化剧烈的时候,及时指出漏点所在位置,并做记号. 4),所有可疑点都检测完成后,关闭检漏仪,停下镀膜机的泵组并将镀膜机打开,将检测出的漏点进行处理(如更换密封圈,清洁等等).处理完成后,再按照前叙步骤检查一遍,直到所有漏点都被清除,检漏过程完成. www.hakuto-v 重量 : 44（kg） ; 尺寸 : 进气口大压力 25 mbar（mm） ; 电源 : 240 v ; 分辨率 : 对气抽速 2.5 l/s ; 工作温度 : 相应时间 0.5s（℃） ; 测量对象 : 气体 4he , 3he, h2 ; 测量范围 : 小检测漏率小于 5.10-12 mbar l/s ; 型号 : hlt 560 ; 品牌 : pfeiffer vacuum ; 类型 : 质谱检漏仪 ; 加工定制 : 否 ;